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由我公司成功研制的50W、150W、300W、500W、1000W射頻電源及600W、2000W、5000W國(guó)產(chǎn)射頻匹配器,廣泛適用于等離子體刻蝕、鍍膜、清洗、等離子體增強(qiáng)、感應(yīng)加熱以及太陽能制造設(shè)備PECVD制作中。射頻電源具有體積小、散熱性高、可承受駐波比高、操作簡(jiǎn)單、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)勢(shì)。匹配器功率覆蓋范圍大(50W-5KW)、匹配時(shí)間短(≤3秒)、指示功能全、操作簡(jiǎn)單,二者均可通過數(shù)字接口實(shí)施計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)采集和控制,輕松實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)入射功率、反射功率、直流偏壓等的精確測(cè)量。我公司備有大量樣機(jī),供客戶測(cè)試使用歡迎來電咨詢聯(lián)系! 聯(lián)系方式:13621233966